名稱(chēng)：德國(guó)超聲波掃描顯微鏡

產(chǎn)品介紹：

名稱(chēng)：德國(guó)超聲波掃描顯微鏡

型號(hào)：V-400E

產(chǎn)地：德國(guó)

應(yīng)用：晶圓面處分層缺陷；錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂；晶圓的傾斜；各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

產(chǎn)品應(yīng)用：

聲掃顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域：

• 半導(dǎo)體電子行業(yè)：半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
• 材料行業(yè)：復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；
• 生物醫(yī)學(xué)：活體細(xì)胞動(dòng)態(tài)研究、骨骼、血管的研究等

在失效分析中的應(yīng)用：

• 晶圓面處分層缺陷
• 錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂
• 晶圓的傾斜
• 各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

聲掃顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢(shì)：

• 非破壞性、無(wú)損檢測(cè)材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)
• 可分層掃描、多層掃描
• 實(shí)施、直觀的圖像及分析
• 缺陷的測(cè)量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì)
• 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像
• 對(duì)人體是沒(méi)有傷害的
• 可檢測(cè)各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）

主要參數(shù)：

• -該型號(hào)顯微鏡系統(tǒng)是實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)線主流機(jī)型。
• - 掃描速度可達(dá)：2000mm/s
• - 與其它品牌機(jī)型相比掃描效率高30%
• - 大掃描范圍：400mm×400mm
• - 小掃描范圍：200μm×200μm
• - 射頻大帶寬：500MHz
• - 新型FCT防誤判探頭

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